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技術(shù)資料

磁控濺射PET PI 非織造基銀膜的微結(jié)構(gòu)及性能

時(shí)間:2022-03-05瀏覽次數(shù):1782

     先進(jìn)院科技研究PET非織造基銀膜的結(jié)構(gòu)及性能,在室溫條件下,用磁控濺射法在PET鍍銀膜非織造布基材上制備了25、50、75、100 nm 4種不同厚度的Ag薄膜,用X射線衍射對(duì)薄膜微結(jié)構(gòu)測(cè)試分析得知:制備的Ag薄膜均呈多晶態(tài),晶體結(jié)構(gòu)均呈面心立方;隨著膜厚的增加,薄膜的平均晶粒尺寸逐漸增大.薄膜的光譜和導(dǎo)電性能測(cè)試表明:PET基銀膜存在臨界膜厚,在臨界膜厚范圍內(nèi),隨著膜厚的增加,薄膜的反射率急劇增強(qiáng),透射率快速下降,但達(dá)臨界膜厚后,反射率和透射率隨膜厚的變化趨于平緩;隨著膜厚的增加,薄膜的導(dǎo)電性能明顯提高.
采用直流磁控濺射技術(shù)在PI鍍銀膜非織布表面沉積Ag膜,利用正交試驗(yàn)法分析磁控濺射工藝參數(shù)對(duì)其電磁屏蔽效能(SE)的影響,結(jié)果表明磁控濺射工藝參數(shù)對(duì)電磁屏蔽效能的影響次序?yàn)闉R射功率,濺射時(shí)間,濺射壓強(qiáng);更佳工藝參數(shù)分別為:30W,15min,0.5Pa,在30M~1.5GHz頻率范圍內(nèi),其屏蔽效能均值達(dá)到39.37dB.進(jìn)一步采用多種表征手段分析其物理結(jié)構(gòu)特征及表面狀態(tài),結(jié)果顯示Ag在PET纖維表面成膜致密,分布均勻,結(jié)晶性能良好,且以單質(zhì)銀的形態(tài)存在.

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