TCO(透明導(dǎo)電氧化物 )薄膜研究開發(fā)的歷史與現(xiàn)狀 ,展望了產(chǎn)業(yè)化前景.傳統(tǒng)的 ITO薄膜性能優(yōu)異 ,是重要的平面顯示器件用材料.新型 Zn O薄膜成本低廉 ,極具發(fā)展?jié)摿?,有望在太陽能電池領(lǐng)域取代 ITO(摻錫氧化銦 ).多元復(fù)合氧化物薄膜是 TCO的發(fā)展方向之一 ;柔性襯底的應(yīng)用擴大了 TCO薄膜的用途 ;溶膠 -凝膠制備工藝的開發(fā)促進了大面積 TCO薄膜的實用化

透明導(dǎo)電氧化物薄膜(transparent conductive oxide簡稱TCO)主要包括In,Sb,Zn和Cd的氧化物及其復(fù)合多元氧化物薄膜材料,同時,人們還開發(fā)了Zn_2SnO_4,In_4Sn_3O_(12),MgIn_2O_4,CdIn_2O_4等多元透明氧化物薄膜材料.TCO薄膜的制備方法有多種,制備薄膜的各種方法,如磁控濺射法,反應(yīng)熱蒸發(fā),金屬有機化學(xué)汽相沉積,原子層外延,噴射熱分解,脈沖激光沉積(屬于物理氣相沉積),溶膠凝膠(sol-gel)等均可用于制備TCO薄膜.薄膜的性質(zhì)是由制備工藝決定的

p型透明導(dǎo)電膜是近來發(fā)現(xiàn)的一種新型的材料,在透明有源器件,傳感器,透明電極和電路等方面具有廣泛的潛在應(yīng)用.近來在這方面的研究取得了一些突出的進展.關(guān)于p型透明導(dǎo)電膜在材料,沉積工藝以及相關(guān)器件方面的研究進展.