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技術(shù)資料

磁控濺射改性PI鍍金 鍍銀 鍍銅的原理詳解

時間:2022-02-28瀏覽次數(shù):3408

PI PET 濺鍍金銀銅,通常指的是磁控濺鍍,屬于高速低溫濺鍍法。該工藝要求真空度在1×10-3Torr左右,即1.3×10-3Pa的真空狀態(tài)充入惰性氣體氬氣(Ar),并在塑膠基材(陽極)和金屬靶材(陰極)之間加上高壓直流電,由于輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生的電子激發(fā)惰性氣體,產(chǎn)生等離子體,等離子體將金屬靶材的原子轟出,沉積在塑膠基材上。

以幾十電子伏特或更高動能的荷電粒子轟擊材料表面,使其濺射出進(jìn)入氣相,可用來刻蝕和鍍膜。入射一個離子所濺射出的原子個數(shù)稱為濺射產(chǎn)額(Yield)產(chǎn)額越高濺射速度越快,以Cu,Au,Ag等更高,Ti,Mo,Ta,W等更低。一般在0.1-10原子/離子。離子可以直流輝光放電(glow discharge)產(chǎn)生,在兩極間加高壓產(chǎn)生放電,正離子會轟擊負(fù)電之靶材而濺射也靶材,而鍍至被鍍物上。
鍍金膜

濺鍍機(jī)由真空室,排氣系統(tǒng),濺射源和控制系統(tǒng)組成。濺射源又分為電源和濺射槍(sputter gun) 磁控濺射槍分為平面型和圓柱型,其中平面型分為矩型和圓型,靶材料利用率30- 40%,圓柱型靶材料利用率>50% 濺射電源分為:直流(DC)、射頻(RF)、脈沖(pulse), 直流:800-1000V(Max)導(dǎo)體用,須可災(zāi)弧。

UV減粘壓敏膠(PSA)膠

半導(dǎo)體是家用數(shù)碼產(chǎn)品及電子器件的關(guān)鍵部件。在大規(guī)模集成電路的制造和半導(dǎo)體器件的制造加工過程中,必不可少的基礎(chǔ)材料是半導(dǎo)體芯片。半導(dǎo)體芯片是以單晶硅片加工而成的,單晶硅片簡稱晶圓。在對晶圓材料進(jìn)行切割、磨削加工時,需要用一種特殊的保護(hù)膜進(jìn)行粘結(jié)固定。加工完畢后,再把加工好的晶圓切片從固定膠膜上完全剝離下來,不影響晶圓材料本身。水晶(裝飾玻璃)應(yīng)用于燈具、服飾等日常生活,光學(xué)玻璃應(yīng)用于光學(xué)儀器也需要經(jīng)過切割和研磨,加工過程中同樣需要保護(hù)膜進(jìn)行固定,加工完成后再輕松剝離。

1、主要應(yīng)用:

封裝領(lǐng)域:各種封裝件(QFN/BGA/DFN)的切割用;晶圓研磨、切割用。

光學(xué)領(lǐng)域:各種鍍膜玻璃、普通玻璃的開槽、切割、酸洗用。

其它領(lǐng)域:加工時需要高粘力膠帶貼覆,加工后需要將膠帶揭離且無殘膠。

2、產(chǎn)品優(yōu)勢;

1. UV 照射前具有較高的粘力,能夠確保加工過程中工件的穩(wěn)固;

2. UV 照射后粘力幾乎消失,工件易揭離且無殘膠、無雜質(zhì)轉(zhuǎn)移到工件表面;

3. 具有良好的延展性,便于擴(kuò)膜取粒;

4. 具有一定耐溫性,滿足特殊溫度工藝的使用。
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